Article
  • Fabrication of Capacitive-Type Humidity Sensor with Poly(p-phenylene ether sulfone)
  • Cho JI, Choi K, Kim CJ, Kim BI, Park SH, Bang GS
  • 폴리(페닐렌에테르설폰)을 이용한 용량형 습도센서의 제조
  • 조재익, 최균, 김창정, 김병익, 박승현, 방기석
Abstract
We fabricated a capacitive-type humidity sensor using poly(p-phenylene ether sulfone: PES) as a humidity sensitive layer. The PES was dissolved in m-cresol(CH3C6H4OH) and spin-coated on ITO-coated glass substrate. Gold was deposited by sputtering as a water-permeable upper electrode. The capacitance of the sensor was inversely proportional to sensing film thicknesses and showed an excellent linearity of less than 1% in the humidity range of 20 to 90%. The sensor having a 1.4 μm sensing layer showed a hysteresis of 1.3% and a good sensitivity of 1.14 at 20 kHz.

ITO 코팅 글라스를 기판으로 사용하고 폴리(페닐렌에테르설폰)(PES)을 감습막으로 하여 정전용량형 습도센서를 제작하였다. 감습막은 PES를 m-cresol에 용해한 후 스핀코팅으로 제조하였고, 그 상부에 다공성 Au 막을 스퍼터링으로 증착하였다. 상대습도 20∼90%의 범위에서 센서의 용량은 감습막 두께에 반비례하였고 1% 미만의 비선형 특성을 나타내었다. 또한 1.4 μm 두께의 샘플에서는 20 kHz에서 1.3%의 히스테리시스와 1.14의 우수한 감도를 얻을 수 있었다.

Keywords: humidity sensor; sulfone; capacitive-type; p-phenylene ether sulfone

  • Polymer(Korea) 폴리머
  • Frequency : Bimonthly(odd)
    ISSN 0379-153X(Print)
    ISSN 2234-8077(Online)
    Abbr. Polym. Korea
  • 2022 Impact Factor : 0.4
  • Indexed in SCIE

This Article

  • 2006; 30(3): 207-209

    Published online May 25, 2006

  • 10.7317/pk.
  • Received on Nov 10, 2005
  • Revised on Nov 30, -0001
  • Accepted on May 3, 2006

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